Ｘ線回折システム
あらゆる，結晶物質は，その物質固有の結晶構造を持っています．Ｘ線回析法とは，物質にＸ線を照射し，Ｘ線の回析現象を利用することで，物質の定性分析（どんな物質が含まれているか）及び，結晶構造や結晶子サイズ，物質内部の応力等の情報が評価できる測定方法です．
性能及び仕様
| 製造所 | ： | 日本電子株式会社 |
| 型式 | ： | JXDX3531 |
| 仕様 | ： | 容量・・・・連続定格3.0kW 制御・・・・インバータ方式 電圧電流設定範囲・・・・電圧20kV～60kV, 電流2.5mA～80mA |
特徴
- EWSを用い，測定条件の設定及び，測定の自動化が可能です．
- X線の漏洩に対し，二重の安全装置が装備されているため，通常動作では漏洩の心配はありません．
（仮に漏洩したとしても，人体の影響はレントゲン写真撮影よりも微小です） - 資料のアタッチメントを交換するだけで，粉体，薄膜，個体材料の評価が可能です．
- バックグラウンド（ノイズ）が大きな試料でも，モノクロメータ等の使用で，ノイズを低減し評価の精度が向上します．
評価項目
- 定性分析：物質の同定（物質に含まれている元素の評価）
- 定量分析：試料に含有される物質の簡単な量の評価
- 結晶性の評価
- 結晶子サイズ及び結晶の歪み評価
- 格子定数の評価
- 物質の応力評価（薄膜及び固体）
- 残量オーステナイトの評価
用途
- 各種新素材や，機能材料の定性評価及び定量評価
- 集積回路上で使われる各種薄膜や，磁性体膜，メッキ膜等の構造分析や，結晶化，配向性の評価
- 各種金属の接合面及び，破断面の残留応力の評価