光計測システム
光計測システムは光の波動性を利用して,物体の長さ,形状,表面粗さ,屈折率等を光の波長程度の精度で測定するシステムです.本装置では,ホログラフィ技 術を利用することにより,測定対象の時間的な変化を測定することが可能となりました.さらに,多波長のレーザ光を利用し,光散乱による異なる光波間の相関 も測定できます.
性能及び仕様
光学系 | : | ホログラフィ干渉計,マッハツェンダ干渉計,シュリーレン光学系,光学定盤(中央精機株式会社製) |
光源 | : | アルゴンイオンレーザ(ナショナルレーザ製)総合出力160mW ヘリウムネオンレーザ(メレスグリオ製)出力10mW |
特徴
- 光波干渉の原理を利用するため,サブミクロン程度の形状が測定できます.
- ホログラフィ技術を用いることにより,ピント合わせ無しで物体の3次元形状の変化を測定でき,時分割干渉が可能となります.
- アルゴンイオンレーザとヘリウムネオンレーザを併用することにより,複数の波長に対する特性が観察できます.
用途
- ホログラフィ干渉計:変位・変形・振動の状態の観察
例:光学部品等の精密部品の検査 - マッハツェンダ干渉計:透明な物体の屈折率分布の定量的測定
例:流れ場の密度分布,温度,流速等の測定 - シュリーレン光学系:透明な物体による屈折や散乱の可視化
例:流体の密度勾配(流れ)の可視化